
| Materials | Purity | Maximum Dimension(Dimeter, Φ) |
| Al2O3 | 4N | 3” |
| MgO | 4N | 2” |
| SrTiO3 | 4N | 3” |
| Si | 5N | 4” |
| SiO2 | 5N | 4” |
| Ge | 5N | 4”,2” |
| LaAlO3 | 4N | 2”、3” |
單晶基板、雲母、靶材、石英、金屬及合金材料

| Materials | Purity | Maximum Dimension(Dimeter, Φ) |
| Al2O3 | 4N | 3” |
| MgO | 4N | 2” |
| SrTiO3 | 4N | 3” |
| Si | 5N | 4” |
| SiO2 | 5N | 4” |
| Ge | 5N | 4”,2” |
| LaAlO3 | 4N | 2”、3” |